RT - Journal Article T1 - بررسی خواص الکتریکی نمونه‌های ساندویچی (Cu/Si/PS/Au) جهت ساخت حس‌گر گازهای CO2,N2 وO2 JF - jsci YR - 2011 JO - jsci VO - 11 IS - 3 UR - http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1415-fa.html SP - 125 EP - 140 K1 - belong to this parameters current K1 - density= 20 mA cm2 K1 - t = 1800 K1 - PH = 1.869 and L = 4 cm AB - این پژوهش به‌منظور بررسی اثر حس‌گری گاز و رفتار الکتریکی نمونه‌های ساندویچی برپایۀ سیلیکان متخلخل (PS) با ساختار Cu/Si/PS/Au انجام شده است. لایه‌های نازک PS به روش الکتروشیمیایی از زیر لایۀ سیلیکان با مقاومت ویژه  1.4-2.6 ساخته می‌شوند . پارامترهای قابل تغییر در ساخت نمونه‌ها، زمان آندی‌سازی، فاصلۀ بین آند و کاتد(L) و چگالی جریان آنودی‌سازی و غلظت محلول الکترولیت هستند که محلول الکترولیت شامل اسید‌هیدروفلوریک HF(48%) ، اتانول C2H5OH(99.9%) و آب‌مقطر با نسبت‌های مختلف x:y:z  در نظر گرفته  شده است. نمونه‌ها پس از متخلخل شدن رفتار متفاوتی از خود نشان می‌دهد که این اثر را می‌توان با اندازه‌گیری گاف انرژی از روی نمودار  توجیه کرد. هم‌چنین در این مقاله مشخصه‌های  I-V , I-Tنمونه‌ها در شرایط مختلف و در حضور گازهای  CO2,N2,O2اندازه‌گیری و مقایسه شده‌اند. بهترین شرایط از لحاظ پاسخ به اعمال گاز متعلق به  پارامترهای: چگالی جریان 20 mA/cm2،t = 1800 S ، PH = 1.869 و فاصله بین آند و کاتد L=4 cm است. LA eng UL http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1415-fa.html M3 ER -