[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: دوره 18، شماره 49 - ( شماره 3 و 4-زیست شناسی از صفحه 401 تا 470 و شیمی و فیزیک از صفحه 471 تا 485 1384 ) ::
جلد 18 شماره 49 صفحات 471-479 برگشت به فهرست نسخه ها
ساخت حس‌گر گازی از سیلیسیم متخلخل و بررسی حساسیت آن نسبت به گاز
چکیده:   (1829 مشاهده)
در این مقاله نمونه‌های مختلفی از سیلیسیم نوع p به روش آنودی‌سازی الکتروشیمیایی در محلول اسید فلوریدریک (HF) متخلخل شد. معلوم گردید که بسته به مقدار غلظت HF چگالی جریان آنودی سازی و زمان سونش میزان متخلخل برروی سیلیسیم متفاوت بود. سپس یک اتصال اهمی آلومینیوم بر روی یک طرف سیلیسیم نوع p (طرف غیرمتخلخل) و یک اتصال از طلا بر روی طرف متخلخل آن ساخته شد. این نمونه‌ها به عنوان یک حس‌گر مورد استفاده قرار گرفت. برای مشخصهI-V نمونه‌های مختلف رسم شد. نتایج تجربی مبین آن است که مشخصهI-V کاملاً به جریان اکسیژن حساس است. به همین سبب از این خاصیت می‌توان برای ساخت حس‌گر گازی استفاده کرد.
واژه‌های کلیدی: آنودی سازی الکتروشیمیایی، سیلیسیم متخلخل، حس‌گر گازی
متن کامل [PDF 817 kb]   (923 دریافت)    
ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

کد امنیتی را در کادر بنویسید >


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Porous Silicon as oxygen sensor. Materials & Energy. 2006; 18 (49) :471-479
URL: http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1170-fa.html

ساخت حس‌گر گازی از سیلیسیم متخلخل و بررسی حساسیت آن نسبت به گاز. مواد و انرژی. 1384; 18 (49) :471-479

URL: http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1170-fa.html



دوره 18، شماره 49 - ( شماره 3 و 4-زیست شناسی از صفحه 401 تا 470 و شیمی و فیزیک از صفحه 471 تا 485 1384 ) برگشت به فهرست نسخه ها
نشریه علوم دانشگاه خوارزمی Quarterly Journal of Science  Kharazmi University